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一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法
发表时间:[2014-12-05] 作者:本站 编辑录入:本站 点击数:2713
一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法
【发明专利申请】 【事务数据】
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申请公布号 CN104119079A 申请公布日 2014.10.29 申请号 2014103796412 申请日 2014.08.04 申请人 上海泛联科技股份有限公司 地址 201805上海市嘉定区安亭镇于塘路885号1幢1层B区 发明人 赵振威 Int. Cl. C04B35/584(2006.01)I; C04B35/64(2006.01)I 专利代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司31225 代理人 叶敏华
摘要 本发明涉及一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法,包括以下步骤:A、氮化硅原料中加入氧化镁与氧化镧,配成混合物料,混合物料经过湿法混合、细化处理后干燥;B、将步骤A处理好的原料装入金属模,采用先机械干压,然后再密封,进行冷等静压成型,制备所要求形状的素坯;C、将步骤B制备的素坯,装入气压烧结炉,进行气压烧结;D、对步骤C烧结后的毛坯外形粗加工,保障材料外形尺寸的一致性,然后包裹上石墨纸,装入预先设计好的和步骤C烧结后的毛坯外形尺寸一致的石墨模具内,再进行热压烧结,得到材料性能一致性高的氮化硅。与现有技术相比,本发明具有低成本、材料离散性小、操作简单、利于工业化生产等优点。
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